电子精仪制造无尘洁净室净化工程

电子制造厂房净化工程平面分区：洁净生产区、洁净辅助区、办公管理区、设备区

    电子制造无尘室按照工艺要求一般会分千级、万级或十万级，譬如末端工艺的LCD制屏无尘车间。背光屏冲压无尘车间、组装无尘车间洁净度一般设为万级或十万级，不需要达到千级。总的来说在无尘车间有多种工艺工序时，可以根据工艺的不同要求，采用不同的空气洁净度标准进行建设，要使电子洁净室洁净度等级达到相应要求,风量、温度、湿度、压差、设备排风等都要按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，同时对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。以电子万级无尘室为例，电子制造万级无尘室相关技术指标如下：电子制造厂万级无尘室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)；电子制造厂万级无尘室温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊无尘车间有相关温湿度规定）。电子制造厂无尘室垂直流无尘室满布比不应小于60%，水平单向流无尘室不应小于40%，否则就是局部单向流了。电子制造厂无尘室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。电子制造行业万级无尘室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。根据热，湿负荷计算确定电子厂无尘室的送风量，保证供给无尘室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。电子制造行业无尘室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。